微振动监测是一种用于检测和分析微小振动现象的技术手段。

评判标准：GB 51076-2015 《电子工业防微振工程技术规范》，即VC曲线

应用领域：

1. 光刻机晶圆台亚纳米级振动控制

2. 刻蚀机/薄膜沉积设备共振抑制

3. 封装测试线键合机微位移监测

4. 激光干涉仪/电子显微镜防振台效能验证

5. 天文望远镜镜面形变实时补偿

6. 极紫外（EUV）光刻光学系统振动隔离

7. 冷冻电镜样品台超低温环境振动监测

8. 基因测序仪光学模块微振溯源

9. 无菌车间精密分析仪器稳定性保障

10. 燃料电池质子交换膜装配微振控制

11. 冷原子钟磁光阱平台地脉动监测

12. 引力波探测装置低频振动补偿

13. 古建筑群地铁振动传播路径监测

13. 博物馆珍贵文物展柜微环境振动控制

14. 石窟岩体结构毫米/年级形变追踪

15. 海底光缆着陆点地壳微振动预警

实时波形与1/3倍频程曲线实施展示